设备名称：干涉仪 G150

　　设备介绍：G150-QCL菲索型 激光干涉仪的、采用共光路设计结合Sirius 抗振移相干涉条纹分析软件实现高精度的面型和波前测量，可以进行平面面型、平行度、波前和材料均匀性、球面面型、曲率半径以及光学系统波像差等几乎所有的干涉测量。

　　设备技术指标参数：

　　•RMS 简单重复性（2δ）<2.2nm

　　•长期稳定性（2δ）<2.2nm

　　•标准镜精度PV：优于λ/20

　　长春理工大学中山研究院精密光学薄膜实验室详情链接：

　　https://zs.cust.edu.cn/kjpt/zykysys/945e52a386934e179aa87f9539427b42.htm 

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