名称：扫描电子显微镜

　　主要功能：主要用于直接观察各种样品的微观结构观察及分析。

　　设备型号：TESCAN VEGA COMPACT

　　技术指标：

　　分辨率：二次电子探头 3.0nm (30kV)， 8nm (3kV)，15nm (1kV)；

　　背散射电子探头分辨率：3.5nm；

　　加速电压： 0.2-30KV 连续可调；

　　放大倍率：2X-300,000X ； 放大倍率预设6档（用户可选择）。

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