名称：激光跟踪仪

　　设备介绍：

　　1.内置激光测距仪：

　　波长：795nm

　　光束直径：约10mm

　　光束发散角：＜1.5mrad（平行）

　　工作原理：偏振调制

　　分辨率：0.3μm

　　精度：±10μm

　　2.激光干涉仪：

　　波长：633nm

　　发射孔径：5.5mm

　　光束发散角：＜1.5mrad

　　分辨率：0.4μm

　　精度：±0.3ppm               

　　（联系人：王老师 联系电话：0760-86981105） 

　　邮箱：wangbssd@cust.edu.cn