名称：高性能红外镀膜机

　　设备型号：OTFC1300；

　　设备参数：霍尔离子源；400~2400nm间接式光控；270°焦耳电子枪+六位旋转阻蒸；扩散泵；

　　功能描述：沉积高精度红外光学薄膜，工件盘尺寸φ150内   

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