名称:高激光损伤阙值镀膜机
设备型号:OTFC1300;
设备参数:17cm射频离子源;400~2400直控+间接式光控;270°双焦耳电子枪;低温泵;
功能描述:沉积高精度光学薄膜,工件盘尺寸φ95内;
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