名称：感应耦合等离子体刻蚀机

　　型号：SHL150CS-ICP             

　　仪器详情：采用远程ICP等离子体源技术，满足低损伤刻蚀需求。工艺腔内壁带有内衬，内衬表面经耐腐氧化处理，内衬带加热，加热温度范围室温~60℃，控温精度约为±1℃。工艺腔本底极限真空度达到1×10-3Pa以上。采用质量流量计（MFC）控制气体流量，MFC支持更改气体种类与气体量程。可用于大面积的结构转移和刻蚀。      

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