名称：环境扫描电子显微镜电子束刻蚀

　　型号：TESCAN MEGNA              

　　仪器详情：环境扫描电子显微镜电子束刻蚀(超高场发射电镜电子束曝光系统)同时具备超高分辨率SEM功能与EBL功能。可用于表征纳米材料的表面以及进行微观分析，并利用电子束曝光系统进行表面微纳结构的制造。     

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