名称：3D激光共聚焦显微镜

　　设备介绍：

　　设备型号：OLS5100-SAF；

　　参数信息：

　　（1）采用螺旋弹簧额阻尼橡胶组成的减震装置，内置激光光源405nm (0.95mW) ，LED白光光源和外置60W 532nm纳秒激光源;具有轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗度分析、 面粗度分析和直方图分析功能；

　　（2) 放大倍数:108-17000倍，1-8倍变焦系统；

　　（3) 反射式双共聚焦扫描系统：具有：彩色明场，彩色偏光，彩色微分干涉DIC， 激光明场， 激光微分干涉DIC观察；

　　（4) 可测量高达87.5°的大角度斜面；

　　（5) 高度显示分辨率0.5纳米， 动态范围16位平面显示分辨率1纳米；

　　（6) 单次测量时， 测量点的最大数量： 4096X4096像素， 测量点的最大数量:3600万像素；

　　（7) 最大样品高度：100mm；

　　（8) 平面精度：平面光学分辨率为0.12um，平面测量重复精度：100x: 3σn-1=0.02um； Z轴采用0.78nm光栅尺， Z轴测量分辨率10nm；Z重复性：50x、100x: σn-1=0.012um；

　　（9)6孔电动物镜转盘：物镜切换时，物镜自动升高后，再切换，更好保护物镜及样品。Z轴驱动采用物镜转盘上下驱动方式，移动行程10mm， 非载物台上下驱动方式，不会产生载物台驱动方式导致的垂直度不良的问题。

　　（10) 与显微镜同一品牌物镜10倍以上是专门针对405nm激光显微镜开发的物镜:5倍物镜NA:0.15,WD20mm，10倍物镜NA:0.3,WD:10.4mm，20倍物镜NA:0.6,WD:1mm，50物镜A:0.95,WD:0.35mm100倍物镜NA:0.95,WD:0.35m；

　　（11) 超声波电动载物台， 行程大小100X100mm: 保在大范围拼接时的度 保证拼接的质量及大范围测量的精度；

　　（12)Z轴扫描模式：Z轴扫描层数可选择精细、标准、高共三种扫描模式进行选择，能设置扫描跳过区域,具备激光HDR与4K扫描技术实时全景宏观地图，连续自动对焦，彩色高动态光照渲染HDR观察，彩色及激光双模观察。采用PEAK算法和双向扫描测量具有特性的跳跃扫描功能；

　　（13) 拼接模式，可拼接2000张以上照片；

　　（14) 具有测量两个指定区域之间的台阶高度和距离，角度差，指定区域的体积，自动检测制定区域的边缘测量宽度，表面粗糙度；

　　  (15) 使用直径0.4微米的激光束扫描样品表面测量透明体薄膜厚度量测和界面高度，多层模式的测量。

　　功能描述：通过无损观察方式，提供高超的图像质量和准确的3D测量

　　检测测试服务内容：a.测量两个指定区域之间的台阶高度和距离，角度差。b.指定区域的体积。c.自动检测指定区域的边缘测量宽度，表面粗糙度。

　　（联系人：王老师 联系电话：0760-86981105） 

　　邮箱：wangbssd@cust.edu.cn